日本材料学会半導体エレクトロニクス部門委員会 2023年度 第3回研究会 -2024年1月、鳥取大学- ■(010)および(001)β-Ga2O3基板表面へのRF窒素プラズマ照射効果:ショットキー界面の電気特性 高井 亮汰