大学院生 内藤圭吾君が第40回強誘電体会議（FMA40）において「学生最優秀発表賞」を受賞

●ワイドバンドギャップ半導体Ga₂O₃基板上へのHf_xZr_1-xO₂薄膜のALD成長 　　   内藤圭吾