学会発表リスト

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日本材料学会半導体エレクトロニクス部門委員会 2023年度 第1回研究会

-2023年7月、大阪-

■プラズマプルームの発光分光分析による電子強誘電体YbFe2O4薄膜のPLD成長プロセスモニタリング   嶋本 健人
■非平衡窒素プラズマを用いた酸化ガリウム基板の窒化処理手法に関する検討  内藤 圭吾
■マルチフェロイックYbFe2O4薄膜の組成制御に向けたPLD多元打ち製膜の検討  葉山 琢充
■PLDレーザー照射条件が強相関強誘電体YbMnO3薄膜成長におよぼす影響  市川 颯大
■ALD法によるHfO2薄膜作製における原料供給量が直方晶相形成過程におよぼす影響  市川 龍斗