学会発表リスト

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第40回強誘電体会議

-2023年5月、京都-

■圧電MEMS振動子の機械学習デバイス応用   吉村 武
■ワイドバンドギャップ半導体Ga2O3基板上へのHfxZr1-xO2薄膜のALD成長  内藤 圭吾